Главная / Каталог / Полупроводники / Сенсоры (датчики) / STMicroelectronics / MEMS

MEMS

Технология MEMS (Microelectromechanical systems) - микроэлектромеханические системы технология объединяющая в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты.

STMicroelectronics европейская компания - мировой лидер по производству электронных компонентов. Одно из ключевых направлений продукции компании – MEMS устройства. Благодаря современным технологиям, отличному качеству и широкому портфелю продуктов компания STMicroelectronics заняла одну из лидирующих позиций на рынке MEMS датчиков.

Продукция MEMS устройств STMicroelectronics включает в себя: одноосевые и многоосевые аналоговые и цифровые акселерометры и гироскопы, магнетометры, датчики давления, микрофоны, а так же MEMS модули включающие в себя совмещенные инерциальные датчики.

Акселерометр (лат. accelero – ускоряю и греч. metreo – измеряю) – прибор, измеряющий проекцию кажущегося ускорения (разность между абсолютным ускорением объекта и гравитационным ускорением, точнее ускорением свободного падения).

Гироскопы (от греч. «круг» и «смотрю») – устройство, способное реагировать на изменение углов ориентации связанного с ним тела относительно инерциальной системы координат, как правило, основанное на законе сохранения вращательного момента (момента импульса). MEMS гироскопы STM представлены как одноосевыми, так и многоосевыми устройствами, компания STM предлагает три семейства гироскопов:

  • просто реагирующими на отклонение от курса движения Yaw (отклонение от курса движения, рыскание)
  • многоосевые, регистрирующими угловое отклонение и вращение Pitch and Roll (угол наклона и вращение)
  • многоосевые, регистрирующими угловое отклонение и рыскание Pitch and Yaw (угол наклона и рыскание)

Микрофон (от греч. «маленький» и «звук») – электроакустичекий прибор, преобразующий звуковые колебания в колебания электрического тока. Компания STM предлагает ряд MEMS микрофонов собственного производства.

Перечень и основные свойства MEMS устройств, приведены в таблице

Type

General Description

Package

Sensing Axes

Output Type

Range(FS) typ(g)

Angular Rate Range(FS) typ (deg/sec)

Magnetic Range(M_FS) typ (Gauss)

Sensitivity (dBm)

Operating pressure(mbar)

Supply Voltage(VDD) (V)

Current Consumption typ(mA)

Current Consumption (Low Power Mode) typ(mA)

Bandwidth max(Hz)

min

max

min

typ

max

AIS326DQ

Accelerometer

QFPN28 (7x7x1.9)

X, Y, Z

Digital

±2;±6

 

 

 

 

 

3

3.3

3.6

0.67

-

640

AIS328DQ

Accelerometer

QFN24 (4x4x1.8)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8

 

 

 

 

 

2.4

3.3

3.6

0.25

-

500

FC30

Accelerometer

LGA14 (3x5x0.9)

-

Digital

-

 

 

 

 

 

2.5

2.16

3.6

0.3

-

-

HLIS331DL

Accelerometer

TFLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±100;±200;±400

 

 

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.3

-

500

LIS2DH

Accelerometer

LGA14 (2x2x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8;±16

 

 

 

 

 

1.71

2.5

3.6

0.011

0.002

2500

LIS2DM

Accelerometer

LGA14 (2x2x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8;±16

 

 

 

 

 

1.71

2.5

3.6

0.006

0.002

2500

LIS302DL

Accelerometer

LGA14 (3x5x0.9)

X, Y, Z

Digital

±2;±8

 

 

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.3

-

200

LIS331DL

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±8

 

 

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.3

-

200

LIS331DLH

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8

 

 

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.25

-

500

LIS331DLM

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8

 

 

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.25

0.01

200

LIS331HH

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±6;±12;±24

 

 

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.25

0.01

500

LIS332AR

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Analog

±2

 

 

 

 

 

2.16

3

3.6

0.3

-

2000

LIS332AX

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Analog

±2

 

 

 

 

 

2.16

3

3.6

0.3

-

2000

LIS33DE

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8

 

 

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.3

-

200

LIS344ALH

Accelerometer

LLGA16 (4x4x1.5)

X, Y, Z

Analog

±2;±6

 

 

 

 

 

2.4

3.3

3.6

0.68

-

1.8

LIS352AR

Accelerometer

LGA14 (3x5x0.9)

X, Y, Z

Analog

±2

 

 

 

 

 

2.16

3.3

3.6

0.3

-

2000

LIS352AX

Accelerometer

LGA14 (3x5x0.9)

X, Y, Z

Analog

±2

 

 

 

 

 

2.16

3.3

3.6

0.3

-

2000

LIS35DE

Accelerometer

LGA14 (3x5x0.9)

X, Y, Z

Digital

±2;±8

 

 

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.3

-

200

LIS3DH

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8;±16

 

 

 

 

 

1.71

2.5

-

0.011

0.002

2500

LIS3DSH

Accelerometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±6;±8;±16

 

 

 

 

 

1.71

2.5

3.6

0.25

0.01

-

LIS3LV02DL

Accelerometer

LGA16 (4.4x7.5x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±6

 

 

 

 

 

2.16

3.3

3.6

0.65

-

640

A3G4250D

Gyroscope

LGA16 (4x4x1.1)

yaw, pitch, roll

Digital

 

245

 

 

 

 

2.4

3

3.6

6.1

1.5

-

L3G3200D

Gyroscope

TFLGA16 (3x3.5x1)

yaw, pitch, roll

Digital

 

2000

 

 

 

 

2.4

3

3.6

6.1

2

-

L3G3250A

Gyroscope

TFLGA16 (3x3.5x1)

yaw, pitch, roll

Analog

 

2000

 

 

 

 

2.4

3

3.6

6.3

2

-

L3G4200D

Gyroscope

LGA16 (4x4x1.1)

yaw, pitch, roll

Digital

 

2000

 

 

 

 

2.4

3

3.6

6.1

1.5

-

L3G462A

Gyroscope

LGA16 (4x4x1.1)

yaw, pitch, roll

Analog

 

625

 

 

 

 

2.4

3

3.6

6.9

2

-

L3G4IS

Gyroscope

LGA16 (4x4x1)

yaw, pitch, roll

Digital

 

 

 

 

 

 

2.4

2.8

3.6

-

-

-

L3GD20

Gyroscope

LGA16 (4x4x1.1)

yaw, pitch, roll

Digital

 

2000

 

 

 

 

2.4

3

3.6

6.1

2

-

L3GD20H

Gyroscope

LGA16 (3x3x1.1)

yaw, pitch, roll

Digital

 

2000

 

 

 

 

2.2

3

3.6

5

2.5

-

LPR403AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, roll

Analog

 

30

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LPR410AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, roll

Analog

 

100

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LPR4150AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, roll

Analog

 

1500

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LPR430AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, roll

Analog

 

300

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LPR450AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, roll

Analog

 

500

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LPY403AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, yaw

Analog

 

30

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LPY410AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, yaw

Analog

 

100

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

560

LPY4150AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, yaw

Analog

 

1500

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LPY430AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, yaw

Analog

 

300

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LPY450AL

Gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

pitch, yaw

Analog

 

500

 

 

 

 

2.7

3

3.6

6.8

2.1

140

LY3100ALH

Gyroscope

LGA10 (3x5x1.1)

yaw

Analog

 

1000

 

 

 

 

2.7

3

3.6

4.2

2.2

140

LY3200ALH

Gyroscope

LGA10 (3x5x1.1)

yaw

Analog

 

2000

 

 

 

 

2.7

3

3.6

4.2

2.2

140

LY330ALH

Gyroscope

LGA10 (3x5x1.1)

yaw

Analog

 

300

 

 

 

 

2.7

3

3.6

4.2

2.2

140

LSM303D

3D accelerometer 3D magnetometer

LLGA16 (3x3x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8;±16

 

±2;±4;±8;±12

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.3

 

 

LSM303DLHC

3D accelerometer 3D magnetometer

LGA14 (3x5x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8;±16

 

8.1

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.11

 

 

LSM303DLM

3D accelerometer 3D magnetometer

LGA28 (5x5x1)

X, Y, Z

Digital

±2;±4;±8

 

8.1

 

 

 

2.16

2.5

3.6

0.36

 

 

INEMO-M1

iNEMO system on board

INEMO SoB (13x13x2)

X, Y, Z yaw, pitch, roll

Digital

±2;±4;±8;±16

2000

 

 

 

 

2.4

3.3

6

40

 

 

LSM330D

3D accelerometer 3D gyroscope

LGA28 (3X5.5X1)

X, Y, Z yaw, pitch, roll

Digital

±2;±4;±8;±16

2000

 

 

 

 

2.4

3

3.6

6.3

 

 

LSM330DLC

3D accelerometer 3D gyroscope

LGA28 (4x5x1.1)

X, Y, Z yaw, pitch, roll

Digital

±2;±4;±8;±16

2000

 

 

 

 

2.4

3

3.6

6.1

 

 

LSM333D

3D accelerometer 3D gyroscope 3D magnetometer

LGA28 (3.5x6x1)

X, Y, Z yaw, pitch, roll

Digital

±2;±4;±8;±16

2000

12

 

 

 

2.4

3

3.6

6.3

 

 

LPS331AP

MEMS pressure sensor

HCLGA16 (3x3x1)

 

 

 

 

 

 

260

1260

1.71

 

3.6

0.045

 

 

MP34DB01

MEMS microphone

RHLGA4 (3x4x1)

 

Digital

 

 

 

-26

 

 

1.64

1.8

3.6

 

 

 

MP34DT01

MEMS microphone

HLGA4 (4x3x1)

 

Digital

 

 

 

-26

 

 

1.64

1.8

2.86

 

 

 

MP45DT02

MEMS microphone

HCLGA6 (4.72x3.76x1.27)

 

Digital

 

 

 

-26

 

 

1.64

1.8

3.6